江苏超日净化设备有限公司生产的crs型不锈钢硅烷燃烧塔是处理硅烷、氨气及其他可溶性气体的废气净化设备，主要用于处理太阳能电池生产线行业以及pecvd化学气相沉积工艺所产生的废气。
不锈钢硅烷燃烧塔在结构上主要由不锈钢壳体、燃烧系统、洗涤系统和清渣系统组成。在进气方面采用压缩空气加新风进气口双进风形式，提高产品运行效率和可靠性。在喷淋系统方面，采用循环水泵与自动补水相结合的方法，这些工艺特点使不锈钢硅烷燃烧塔在安全可靠性方面得到极大保证。
工艺流程
内部燃烧室采用特殊的泄压装置，即使在内部压力突然增大的情况下仍能正常工作，同时配备了氮气入口，更加大了设备的安全性。在粉尘收集方面采用静压沉积的方法，沉积下来的粉尘通过排渣口排出，这使粉尘收集处理变得更容易、更有效。
超日净化
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