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不锈钢硅烷燃烧洗涤塔

我公司生产的crs型不锈钢硅烷燃烧洗涤塔是处理硅烷、氨气及其他可溶性气体的废气净化设备,主要用于处理太阳能电池生产线行业以及cvd化学气相沉积工艺所产生的废气。
本产品具有耐腐蚀性好、机械强度高、净化效率高、安全性可靠、运行成本低、运行噪声低、操作维护方便、结构设计合理等特点。

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规格型号 crs-1型 crs-2型 crs-3型 crs-4型
高度 h mm 1980 2000 2300 2300
直径 φ mm 300 400 600 800
进气口径×数量 mm×个 dn65×1 dn65×2 dn65×3 dn65×4
排气口径×数量 mm×个 dn65×1 dn65×2 dn65×3 dn65×4
排污口径 mm dn150 dn150 dn150 dn150
压缩空气口径 mm dn20 dn20 dn20 dn20
压缩空气量 l/min 250 400 500 600
氮气口径 mm dn20 dn20 dn20 dn20
氮气补气量 l/min 200 250 250 250

本产品在结构上主要由不锈钢壳体、燃烧系统、洗涤系统和清渣系统组成。在进气方面采用压缩空气加新风进气口双进风形式,提高产品运行效率和可靠性。在喷淋系统方面,采用循环水泵与自动补水相结合的方法,风机采用一用一备形式,这些工艺特点使得本产品在安全可靠性方面得到极大保证。内部燃烧室采用特殊的泄压装置,即使在内部压力突然增大的情况下仍能正常工作,同时配备了氮气入口,更加大了设备的安全性。在粉尘收集方面采用静压沉积的方法,沉积下来的粉尘通过排渣口排出,这使粉尘收集处理变得更容易、更有效。

本产品采用优质不锈钢原料进行制造,根据硅烷与空气接触而自燃的特点,使硅烷在燃烧室与空气接触燃烧,燃烧后的气体穿过填料层再进入燃烧塔喷淋室,经过喷雾处理,使废气与中和循环液接触反应,然后进入脱液器脱液处理后由抽风机排入大气。

控制系统及注意事项:

1. 不锈钢硅烷燃烧净化塔必须保证负压200pa左右。

2. pecvd设备真空泵后面必须加装应急燃烧筒。

3. 不锈钢硅烷燃烧净化塔必须采用新工艺,双风机抽风,一用一备。

4. 风机进风口的电动调节阀必须与风机联动。

5. 风机进风口前必须加装碟阀,以控制硅烷燃烧净化装置内负压。

6. 硅烷燃烧净化装置新风补风口必须加装调节阀。

7. 进气管接口外1~1.5米处必须由可以拆装的连接口,以防清除燃烧箱杂物而可以拆除。

处理硅烷、氨气及其他可溶性气体的废气净化设备,主要用于处理太阳能电池生产线行业以及cvd化学气相沉积工艺所产生的废气。

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